通過控制面板設(shè)定和觀察氣化模塊升溫溫度；
2.儲罐中的去離子水，通過恒流泵加入精密蒸發(fā)器中，去離子水得流量連續(xù)可調(diào)；
3.精密蒸發(fā)器將液態(tài)水99%蒸發(fā)，并且保證蒸汽流量波動(dòng)小于2%；
4.過熱蒸汽通過SUS316L管道通入流量控制器（選配）中，將高溫水蒸氣穩(wěn)定輸送到位置。

型號 SG-01A SG-05A SG-10A SG-50A
流量范圍（可調(diào)） 0.5uL/min-1000uL/min 1mL/min-5mL/min 1mL/min-10mL/min 5mL/min-50mL/min
工作電壓 220V AC 220V AC 220V AC 220V AC
精度 ±1%
出口溫度 120℃-300℃（可按要求定制過熱蒸汽850℃）
壓力 常壓（可按要求定制）
壽命 ≥5年
響應(yīng)時(shí)間 5秒
功率 300瓦（依據(jù)汽化量變化）
使用壽命 ≥5年
外形尺寸（可定制） 240*320*240mm（依據(jù)汽化量變化）
恒流雙柱塞泵（可選蠕動(dòng)泵、注射泵、雙柱塞泵）
每微步注射量 0.13uL
線速度范圍 4.69u1/min-270.00m1/min
流量范圍 0.0001uL/min-158.909m1/min
線性推力 >3kgf
控制精度 控制精度 當(dāng)>30%滿行程時(shí)，控制誤差≤±0.5％
重復(fù)精度 ≤±0.3％