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簡要描述:1.通過控制面板設定和觀察氣化模塊升溫溫度
1.通過控制面板設定和觀察氣化模塊升溫溫度;2.儲罐中的去離子水,通過恒流泵加入精密蒸發(fā)器中,去離子水得流量連續(xù)可調(diào);3.精密蒸發(fā)器將液態(tài)水99%蒸發(fā),并且保證蒸汽流量波動小于2%;4.過熱蒸汽通過SUS316L管道通入流量控制器(選配)中,將高溫水蒸氣穩(wěn)定輸送到位置
?使用環(huán)境:0~50℃ ,0~80%RH?進氣要求:壓力>0.1Mpa(無雜質(zhì))?進水要求:蒸餾水或去離子水(超純水)
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